VAT閘閥14.0

產(chǎn)品介紹

14.0 HV閘閥系列專為標準高循環(huán)真空工藝中的可靠隔離而設(shè)計。該系列滿足耐用性、模塊化和可維護性的標準要求，特別注重高運行時間和低擁有成本。

14.0 HV閘閥配備專為實現(xiàn)閘板密封無摩擦可靠密封而開發(fā)的VATLOCK技術(shù)。VATLOCK機構(gòu)通過在關(guān)閉端位實現(xiàn)機械鎖定，有效防止閥門故障。

該系列已在數(shù)千個嚴苛工藝條件下成功應(yīng)用，其卓絕可靠性經(jīng)受住考驗。DN63-400mm（2.5“-16”）規(guī)格已成為高真空隔離領(lǐng)域的行業(yè)標桿。

憑借其堅固耐用的無潤滑設(shè)計，該閥門完全滿足高真空閘閥的可靠性要求。14.0型專為ultra-high工藝循環(huán)次數(shù)設(shè)計，真正樹立了行業(yè)標桿。

14.0系列提供多種驅(qū)動方式與法蘭連接方案，可輕松集成至各類真空系統(tǒng)。更配備豐富特殊選項：粗抽口、排氣口、壓力表接口等接口配置，以及多種密封材料方案，確保完整適配不同應(yīng)用場景。

14.0 HV閘閥提供手動、氣動及帶電磁閥的三位置氣動版本，可作為車載解決方案或用于外部安裝。電磁閥標準電壓為24 VDC，其他電壓可按要求提供。

法蘭連接的標準選項包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA及JIS?？杉蓭?不帶水冷功能的客戶定制法蘭。

可靠、久經(jīng)考驗的設(shè)計

無需潤滑劑

VATLOCK技術(shù)，具備故障安全防護功能

堅固耐用的不銹鋼主體

高循環(huán)設(shè)計

性能可靠

延長免維護周期

低擁有成本

產(chǎn)地	瑞士
尺寸	DN 63（2½英寸）、DN 80（3英寸）、DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）、DN 400（16英寸）
閥體材質(zhì)	不銹鋼
穿管結(jié)構(gòu)	旋轉(zhuǎn)穿管
標準法蘭	ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS
壓力范圍	1×10?? mbar 至 2 bar (abs) (DN 63 – 200)
	1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 400)
初次維護前循環(huán)次數(shù)	200 000
加熱/冷卻速率	≤ 50 °C/h
安裝位置	任意方向（DN 63 – 350）
	水平方向（DN 400）
電磁閥	24 VDC, 2.5 W（其他規(guī)格可定制）
閥位指示	可視（機械式）
執(zhí)行機構(gòu)	三位置氣動：雙作用
	手動：帶杠桿或手輪
泄漏率	閥體：< 1 × 10?? mbar·l/s
	閥座：< 1 × 10?? mbar·l/s
壓差	閘閥端	≤ 2 bar (DN 63 – 200)
		≤ 1.2 bar (DN 250 – 400)
	開啟時	≤ 30 mbar
溫度	閥體：≤ 150 °C
	氣動執(zhí)行器：≤ 50 °C
	手動執(zhí)行器：≤ 80 °C
	電磁閥：≤ 50 °C
	位置指示器：≤ 80 °C
材質(zhì)	閥體		AISI 304 (1.4301)
	傳動機構(gòu)		AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301)
			AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034)
密封	閥蓋、閘板：FKM (氟橡膠)
位置指示器：觸點額定值	電壓：≤ 250 VAC ≤ 50 VDC
	電流：≤ 5 A ≤ 3 A

半導(dǎo)體制造

用于基質(zhì)轉(zhuǎn)移、過程隔離和真空系統(tǒng)控制，確保晶圓加工過程中的真空環(huán)境穩(wěn)定性。

兼容高循環(huán)真空工藝，滿足長運行時間和低購置成本需求。

顯示器生產(chǎn)

在干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）、OLED蒸發(fā)等工藝中，提供可靠的真空隔離。

快速響應(yīng)特性減少工藝延遲，提升生產(chǎn)效率。

科研與工業(yè)領(lǐng)域

空間模擬：19.2系列大型閘閥（DN 400-1250 mm）支持超大尺寸真空隔離，壓力達 1 × 10?¹? mbar。

真空爐與運輸：全金屬閥設(shè)計適應(yīng)惡劣溫度和輻射條件，確保真空系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行。