VAT高真空閘閥11.1

產品介紹

11.1 HV閘閥系列配備專為閘板密封設計、可實現無摩擦可靠密封的VATLOCK技術。該技術通過在關閉端位實現機械鎖定，有效防止閥門故障。

該系列及其前代產品11.0系列已在數千個嚴苛工況中投入使用，經受住各種工藝條件的考驗，其卓絕可靠性已獲充分驗證。在DN 63-320毫米（2.5“-11.5”）規格范圍內，它們已成為高壓隔離需求的行業標桿。

憑借堅固設計，11.1系列滿足高壓閘閥可靠運行的全部要求。該系列專為ultra-high工藝循環次數設計，樹立了通用型高壓閘閥的新標桿。

本系列提供多種驅動方式和法蘭連接方案，可輕松集成至任何高壓系統。窗口、端口等豐富特殊選項確保整體適配各類應用場景。

11.1 HV閘閥提供手動、氣動及三位置氣動三種版本。該閥門可通過電磁閥控制，電磁閥可安裝在閥體上，也可根據需要安裝在遠端位置。電磁閥標準電壓為24V直流，其他電壓規格可按要求提供。閥門位置通過雙位置指示器顯示——分別配備兩個開關用于“開”和“關”位置——并帶有轉換觸點。

法蘭連接器的標準選項包括ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS。可集成帶水冷或不帶水冷的客戶定制法蘭。

閘板密封可選O型圈密封或硫化密封（maxDN 200 mm/8"）。因其在真空性能和可靠性方面表現優異，建議采用硫化密封方案。

可靠、久經考驗的設計

配備防故障保護的VATLOCK技術

堅固耐用的不銹鋼主體

高循環設計

焊接金屬波紋管密封穿墻件

彈性體密封閘閥類別中真空性能

運行可靠

延長免維護周期

低擁有成本

產地	瑞士
尺寸	DN 63（2½英寸）、DN 80（3英寸）、DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）
閥體材質	不銹鋼
穿管結構	波紋管
標準法蘭	ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS
壓力范圍	1×10??毫巴至1.6巴（absolutely值）（DN 63–200）
	1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 320)
初次維護前循環次數	200 000
安裝位置	任意
電磁閥	24 VDC，5.4 W（其他規格可定制）
閥位指示	可視（機械式）
執行機構	三位置氣動：雙作用
	手動：帶曲柄手柄
泄漏率	閥體：< 1 × 10?? mbar·l/s
	閥座：< 1 × 10?? mbar ls?¹
壓差	閘閥端	≤ 1.6 bar (DN 63 – 200)
		≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)
	開啟時	≤ 30 mbar
溫度	閥體：≤ 150 °C
	執行器：≤ 80 °C
	電磁閥：≤ 50 °C
	位置指示器：≤ 50 °C
材質	閥體		AISI 304 (1.4301)
	傳動機構		AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 200)
			AISI 304 (1.4301) (DN 250 – 320)
	波紋管		AISI 633 (AM350)
密封	閥蓋、閘板：FKM (氟橡膠)
位置指示器：觸點額定值	電壓：≤ 50 VAC/DC
	電流：≤ 1.2 A

半導體制造

用于基質轉移、工藝腔室隔離等關鍵環節，確保高純度真空環境，防止顆粒污染。

顯示器生產

適配干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）、OLED蒸發等工藝，滿足精細控制需求。

科研與高能物理

在空間模擬、高能物理實驗中，提供穩定的高真空隔離解決方案。

工業領域

真空爐、真空運輸、電池生產等場景，依賴其可靠性和耐久性。