VAT控制閥95.3

95.3型控制與隔離閥組合單元將兩種閥門技術的優勢集于一體，構筑緊湊型裝置。在95.3系列中，蝶形控制閥作為節流閥，與角閥（maxDN 50mm/2英寸）或閘閥（DN 63mm/2.5英寸及以上）組合使用，提供卓絕的可控性與密封隔離性能（泄漏率<1×10?? mbar·ls?¹）。此組合設計的優勢在于極小占地面積：僅需單一控制器即可控制兩組閥門，省去安裝獨立閥門時通常所需的額外法蘭與連接件。

集成式32位IC2壓力控制器能快速、精細且精細地調節蝶板位置，在寬導通范圍內提供卓絕的可控性。同一控制器同時控制集成角閥或閘閥的隔離功能。兩閥門運動周期通過單一運動曲線實現同步，確保操作平穩并優化控制與隔離功能。組合閥甚至能在隔離閥關閉時將蝶板開啟至設定角度，從而避免關閉狀態下的死體積。

95.3 HV控制與隔離組合閥已在數千個嚴苛工藝條件下成功應用，其卓絕可靠性已獲得充分驗證。

95.3高壓控制與隔離閥組合單元提供不銹鋼（僅有DN 50及以下）和鋁制版本，尺寸范圍為DN 25-250毫米（1“-10”），配備ISO-KF和ISO-F標準法蘭接口。可集成客戶定制法蘭。可根據需求提供多種FFKM/FKM彈性體材料，標準配置為FKM材質。

占地面積小

安裝要求低

集成閥門采用單一控制裝置

差壓開啟

所需安裝空間min

融合兩種閥門技術的優勢

安裝簡便

擁有成本低

半導體行業：

刻蝕機：實現工藝腔室壓力分段控制，可選WF?專用鍍層。

ALD系統：集成快速響應閥（小于30ms），實現前驅體氣體脈沖注入。

離子注入機：提供無磁化材料版本，實現束線真空隔離。

光伏鍍膜系統：優化氣體分布，提升鍍膜均勻性。

科研真空裝置：滿足高真空環境下的準確控制需求。