SENS4隔膜真空計VDM-2

VDM-2 陶瓷膜片真空傳感器采用耐腐蝕的氧化鋁膜片，膜片可隨施加的壓力而彎曲。核心壓力傳感器元件采用壓電電阻測量法。膜片傳感器測量的真空氣體壓力不受氣體類型或成分的影響。與通常使用充油傳感器元件的不銹鋼壓電真空傳感器相比，陶瓷壓電傳感器元件清潔干燥，減免了污染真空系統的風險。電容式隔膜真空計在許多真空應用中用于測量和控制的過程。VDM-2 傳感器是傳統 1000 托/mbar 全量程電容式隔膜真空計 (CDG) 的替代產品，性價比高且結構緊湊。VDM-2 可用于可能存在腐蝕性氣體和化學物質的苛刻真空應用中。陶瓷氧化鋁膜片具有良好的耐腐蝕性，可抵御多種溶劑和酸性物質。VDM-2 傳感器還可選配 Parylene 保護層，以防止傳感器材料受到腐蝕或氧化。Parylene 是一種獨特的聚合物，具有很強的耐腐蝕性和疏水性，專門設計用于凍干和過氧化氫等離子滅菌等應用。

測量范圍從 1.0E-1 到 1333 mbar，共 4 個量程

經濟實惠，可替代傳統的 1000 托全量程 CDG

整個壓力范圍內的測量與氣體無關

耐腐蝕陶瓷或聚對二甲苯膜片

0-10 VDC 可編程電壓輸出

數字 RS-232 或 RS-485 接口

用于外部控制的可選固態設定點繼電器

可直接替換其他供應商的真空計

15 引腳 HD D-sub RS-232 / RS-485

引腳說明

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 常開觸點

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 共用

12 繼電器 2 常開（常開觸點）

13 繼電器 3 常開（常開觸點）或模擬輸出 2

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 常開（常開觸點）

• RS-232 / RS-485 至 USB 轉換器，帶墻插電源

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 至 USB，15 針 HD D-sub，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 轉 USB，15 針 HD D-sub，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D-sub 接口，電源（90 至 230 VAC）

• TrueVac 手持顯示屏

TVC-1-01 TrueVac 顯示單元

CBL-TVC1-9DS-02 電纜 TVC-1 至 9 針 D-sub, 2 米

CBL-TVC1-9DS-03 電纜 TVC-1 至 9 針 D-sub, 3 米

CBL-TVC1-15HDS-02 電纜 TVC-1 至 15 HD 針 D-sub，2 米

CBL-TVC1-15HDS-03 電纜 TVC-1 至 15 HD 針 D-sub，3 米

CBL-TVC1-RJ45-02 電纜 TVC-1 至 RJ45，2 米

CBL-TVC1-RJ45-03 電纜 TVC-1 至 RJ45，3 米

產地：丹麥

測量范圍：0.1 至 1333 mbar（0.1 至 1000 托）

測量原理：陶瓷膜片壓電電阻式

精度 100 至 1333 mbar：讀數的 0.5 %

精度 1 至 99.9 mbar：滿刻度的 0.05 % (1333 mbar)

磁滯 1×10^-1 至 10 mbar (ISO19685:2017)：讀數的 1 %

磁滯 10 至 1200 mbar（ISO19685:2017）：讀數的 0.1 %

模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率：560 Hz

響應時間（ISO 19685:2017）：< 20 ms

溫度補償：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點范圍：1 至 1333 mbar（0.75 至 1000 托）

固態繼電器觸點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態繼電器觸點耐久性：無限制（無機械磨損）

固態繼電器認證：UL 認證： 文件 E76270；CSA 認證： 證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證

工作環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至 +50 ℃

儲存環境溫度：-40 至 +80 ℃

烘烤溫度（非工作）：+80 ℃

Max介質壓力：2 巴壓力_Abs（29 psia）

爆破壓力：壓力_Abs 4 巴（58 psia）

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：240 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內部保險絲：100 mA（熱敏；可恢復）

外殼：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空處理法蘭（介質浸濕）：不銹鋼 1.4401 / AISI 316

真空暴露材料（與介質接觸） 標準型：316 不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁 (AI2O3 96%)

真空暴露材料（與介質接觸） 聚對二甲苯保護型：316 不銹鋼、氟橡膠、聚對二甲苯

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS 指令：歐盟指令 2015/863

半導體加工、PVD 涂層、CVD 加工、器械滅菌、短程蒸餾、真空爐、冷凍干燥