SENS4真空傳感器VPM-7 SmartPirani ATM

品　　牌：SENS4
型　　號：VPM-7 SmartPirani ATM
技術資料： SEN4真空傳感器VPM-7 SmartPirani ATM.pdf
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產品介紹

VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器專為半導體負載鎖壓力控制以及其他需要準確測量相對于大氣環境壓力的壓力的真空應用而設計。與傳統的負載鎖傳感器和其他負載鎖傳感器解決方案相比，它具有更高的性能，測量范圍更廣、精度更高、測量周期更短。SmartPirani ATM 將熱導率皮拉尼熱損耗真空計的可用測量范圍擴展了 1-3 個數量級，樹立了新的行業標準。

性能特點

一體化多傳感器變送器解決方案
測量和控制負載鎖定過程：VPM-7 SmartPirani ATM 專為真空氣體壓力測量和控制而設計。多種輸出選項可提供除壓力測量信號之外的更多功能。
模擬輸出：模擬輸出電壓提供用于外部監測或控制的信號。VPM-7 提供每十倍頻程 1 VDC 的標準電壓輸出，單位為毫巴 (mbar)、托 (Torr) 或帕斯卡 (Pa)。
數字接口：RS-232 和 RS-485 串行接口便于將壓力和溫度測量數據傳輸到外部設備。
耐腐蝕傳感器：通常情況下，負載鎖裝置環境清潔，不含腐蝕性氣體。然而，可選的耐腐蝕傳感器使得 VPM-7 SmartPirani ATM 能夠應用于存在腐蝕性化學品或殘留蝕刻氣體的場合。
其他供應商即插即用兼容性：VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器可直接替換傳統的負載鎖定真空傳感器。
定制設置：VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器可根據具體應用需求進行定制，使其能夠立即投入特定設備配置中使用。預配置選項包括測量范圍、真空壓力單位、設定點配置和輸出信號縮放。定制單元將被分配一個零件編號，以便日后輕松重新訂購。

技術參數

產地	丹麥
測量范圍	1×10^-6至 1333 mbar (7.5×10^-7至 1000 托)
測量原理（1×10^-6至 1.5 mbar）	MEMS 皮拉尼熱導率
測量原理（1.5 至 2 mbar）	MEMS 皮拉尼/壓電混合讀數
測量原理（2 至 1333 mbar）	MEMS 壓阻膜片
精度（1×10^-5至 9.99×10^-5	讀數的 25%
精度（1×10^-4至 7.99 mbar）	讀數的 5%
精度（8.00 至 99.9 mbar）	讀數的 1%
精度（100 至 800 mbar）	讀數的 0.5%
精度（800 至 1099 mbar）	讀數的 0.25%
精度1100 至 1333 mbar	讀數精度 0.5%
1×10^-3至 10 mbar（ISO19685:2017）滯后	1%
10 至 1333 mbar（ISO19685:2017）滯后	0.1%
模擬輸出分辨率	16 位 (150 μV)
模擬輸出更新頻率	124 Hz
響應時間（ISO 19685:2017）	<20 ms
溫度補償	+10 至 +50 °C
固態繼電器設定點范圍	5×10^-6至 1333 mbar (3.75×10^-6至 1000 Torr)
固態繼電器觸點額定值	50 V，100 mArms / mADC
工作環境溫度	-20 至 +50 °C
介質溫度	-20 至 +50 °C
存儲環境溫度	-40 至 +120 °C
烘烤溫度（非工作狀態）	+120 °C
介質壓力	10 bar abs.壓力
安裝位置	任意
防護等級，EN 60529/A2:2013	IP40
濕度，IEC 68-2-38	98%，無冷凝
外殼	SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁合金 6061
真空工藝法蘭（介質接觸面）	SS 1.4401 / AISI 316
真空暴露材料（介質接觸面）標準版	316 不銹鋼、科瓦合金、玻璃、硅、鎳、鋁、二氧化硅、氮化硅、金、氟橡膠、低揮發性環氧樹脂、焊料、RO4305
真空暴露材料（介質接觸面）聚對二甲苯保護版	316不銹鋼、氟橡膠、聚對二甲苯
真空暴露材料（介質接觸）陶瓷保護型	316不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁陶瓷（Al?O?）
工藝泄漏密封性	<1×10^-9mbar·l/s
平均故障間隔時間 (MTBF)	13,092,170 小時
故障率 (FIT，其中時間=10×10?小時)	76.38

產品應用

半導體

物理氣相沉積涂層

質譜儀

空間模擬

電子顯微鏡

爐子

SENS4真空傳感器VPM-7 SmartPirani ATM

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