VARIAN干式渦輪泵SH110
- 品 牌：VARIAN
- 型 號：SH110
- 技術資料：
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產品介紹
Agilent Varian SH-110泵擁有先進的功能，包括4.0CFM抽速以及5.0×10 -2托的最終壓力。SH-110干式渦旋真空泵的設計便于集成到原始設備制造商（OEM）系統。這種單級泵為110升/分鐘的泵送速度（60赫茲功率）和50毫托（0.07毫巴）的極限壓力，是最終用戶理想的應用程序。SH-110泵符合歐盟指令（CE），加拿大標準委員會（CSA）和Semi S2-0200的要求。
特點：
低溫運行
1/4低功耗馬力電機
內置排氣閥，低噪音的生產
排氣口可移動，在狹小的空間仍具有靈活性，
高壓條件下高抽速，可快速抽氣
低重量，裝有方便的提手
內置故障安全隔離閥，保護真空系統
通用100-230 VAC電源，方便全球安裝
自動空氣鎮流器進行有效的水分處理
快速密封替換，實現低成本使用
詳細參數
泵速峰值：60 Hz，110 L/m, 6.6 m3/hr, 4.0 cfm；
50 Hz，90 L/m, 5.4 m3/hr,3.3 cfm
極限壓力：5.0×10-2托（6.6×10-2毫巴）
最大進口壓力：1個大氣壓
最大出口壓力：1.5個大氣壓
入口連接：NW25 KF法蘭
排氣連接：1/4-in. female nat’l管螺紋
排氣連接適配器：NW16 KF適配器提供
工作環境溫度：5至40℃
存儲溫度：-20至60℃
電機功率：0.25馬力（0.19千瓦）
供電：單相，50-60赫茲，100-115 / 200-230 VAC
電機過熱保護：自動
轉速：1725 RPM， 60赫茲
1425 RPM，50赫茲
冷卻：風冷
重量：19.5千克（43磅）
限制：無腐蝕性，爆炸性，或顆粒狀成形氣體
泄漏率（排氣密封）：<1×10-7 STD-cc / sec氦氣
津公網安備12010102000945號
