VAT轉(zhuǎn)移門插件07.0

品　　牌：VAT
型　　號：07.0
技術(shù)資料：
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產(chǎn)品介紹

在半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中，大氣轉(zhuǎn)移門的核心性能指標(biāo)在于：顆粒激活度與顆粒排放量低，以及快速可靠的啟閉循環(huán)。

全新07.0 HV轉(zhuǎn)移門插件搭載LINVAT技術(shù)，將非凡的顆粒性能與優(yōu)化的可控性完整結(jié)合，實現(xiàn)可調(diào)節(jié)的快速循環(huán)周期。

07.0 HV轉(zhuǎn)移門插件采用LINVAT技術(shù)，其設(shè)計重點在于優(yōu)化顆粒性能與高速循環(huán)周期。

通過優(yōu)化多項設(shè)計特性，實現(xiàn)了卓絕的顆粒性能表現(xiàn)：板材上的扭力桿確保均勻密封壓縮，全封閉式執(zhí)行器，免潤滑環(huán)境，以及具備可調(diào)速曲線的真實L-Motion運動模式，有效避免閉合沖擊。

07.0型卓絕的真實L型運動及可調(diào)速特性，源于VAT專有的LINVAT技術(shù)。該技術(shù)摒棄傳統(tǒng)L型運動中垂直與水平方向分別采用兩個執(zhí)行器的方案，僅通過單個執(zhí)行器實現(xiàn)兩步運動。由此形成高度可靠的執(zhí)行器方案，具備快速、穩(wěn)定、可調(diào)且無沖擊的運動特性。優(yōu)勢在于：提升設(shè)備運行時間并增強可控性。

性能特點

改進的顆粒性能設(shè)計

無油運行環(huán)境

卓絕的精細(xì)L型運動

均勻的密封壓縮

靈活的D-sub和AMP連接

出彩的顆粒性能

高運行時間

可靠運行

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地	瑞士
尺寸	DN 10 mm (1.81“ × 9.29”)
	DN 12 mm (1.97“ × 13.23”)
	DN 14 mm (1.38“ × 13.23”)
	DN 15 mm (2.56“ × 16.54”)
	DN 20 mm (1.97“ × 16.54”)
執(zhí)行機構(gòu)	氣動
穿管	波紋管
泄漏率	< 1 × 10?? mbar·l/s
閘門處壓差	關(guān)閉方向：≤ 1 bar
閘門處壓差	開啟方向：≤ 0.1 bar
開啟過程壓差	≤ 30 mbar
初次維護前循環(huán)次數(shù)	≥ 300萬次
動作時間	開啟： ≤ 1秒
動作時間	關(guān)閉：≤ 1秒
溫度	閥門處：≤ 120 °C
溫度	執(zhí)行器處：≤ 80 °C
材質(zhì)	閥體：鋁合金
材質(zhì)	波紋管保護層：聚四氟乙烯
密封件	硫化FFKM橡膠
安裝位置	執(zhí)行器可上下安裝
氣源故障鎖定	氣動鎖定
位置指示器	簧片開關(guān)
重量	DN 10, DN 12, DN 15：8.5千克 /18.7磅
重量	DN 14, DN 20：7.5 kg /16.5 lbs

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體制造：用于晶圓傳輸、真空腔室隔離等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，保障生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度與設(shè)備穩(wěn)定性。

顯示器生產(chǎn)：支持干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）等工藝的真空控制。

科學(xué)儀器領(lǐng)域：在科研裝置中實現(xiàn)高精度真空傳輸。

工業(yè)真空系統(tǒng)：如真空爐、真空運輸、電池生產(chǎn)等場景的顆粒控制與高效傳輸。

VAT轉(zhuǎn)移門插件07.0

產(chǎn)品介紹

性能特點

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品應(yīng)用

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