VAT角閥24.2

暴露于活性腐蝕性工藝氣體中的真空閥門，尤其是用于隔離遠程等離子體源的清潔氣體閥門，極易遭受嚴重磨損。過去，因維護或更換這些閥門而頻繁中斷生產曾是常態。如今，這種情況已不復存在。

24.2角閥在耐磨性方面樹立了全新標桿。實際應用中，其平均運行時間較現有解決方案延長一倍，部分案例中更顯著超越該基準值。

憑借針對等離子清洗應用優化的閉合機制，24.2角閥兼具精細操作隔離閥的便捷性、ultra-high耐久性及極低維護需求。

等離子清洗領域多數真空閥的薄弱環節在于閘門密封件，其無法抵御強腐蝕性等離子氣體及氟自由基的侵蝕。24.2角閥通過采用閉合鐘形結構替代傳統閘門，解決了這一難題。

鐘形結構使密封件置于等離子流外的深密封槽中，有效防止過早磨損。該結構還重新設計了流道引導，經優化的等離子流道使導電率較傳統角閥提升40%。由于減少了因流道狹窄或湍流造成的能量損耗，等離子流的功率利用率顯著提高。

新開發的軸向貫穿件設計可保護貫穿件密封件免受過度的熱應力影響。

此外，采用專用軸穿墻盒實現閉合鐘罩與穿墻件的熱解耦，避免直接熱傳導。同時準確設定主體與閉合鐘罩間的間隙尺寸，有效防止等離子體滲透并max限度降低其影響。

24.2角閥已在多種嚴苛等離子清洗工藝中驗證其卓絕性能。憑借模塊化設計，該閥門可輕松適配現有系統進行改造升級。

24.2型角閥提供DN 16規格的鋁制版本，配備雙作用氣動執行器。其他規格及直通式版本可按需定制。

該閥門采用被動式空氣冷卻，無需水冷。但可選配主動式空氣冷卻系統，該系統可使用與執行器相同的壓縮空氣驅動。被動及可選的主動空氣冷卻系統能直接、均勻且有效地保護溫度敏感的密封面。

除標準FKM（Viton）密封材料外，動態密封與靜態密封可選配耐高溫FFKM（Kalrez）材料，即使不采用主動冷卻也能顯著提升耐磨性。密封材料可根據客戶需求定制。

24.2角閥標配KF法蘭，可選配客戶定制法蘭。配套的塑料法蘭夾具具有電氣絕緣功能，可有效防止電流傳播。

除卓絕耐磨性外，24.2角閥專為快速簡易維護設計。

僅需松開四顆螺栓，即可通過簡單步驟更換所有相關部件，包括靜態密封件、動態密封件或密封盒。配套維護套件可確保快速可靠的維護流程。

等離子體優化流道設計

密封保護

集成冷卻系統

模塊化設計

延長免維護運行周期

max化導電率

min化等離子體能量損耗

低擁有成本

快速簡易維護

VAT角閥24.2已在要求苛刻的各種等離子清潔工藝中證明了其性能，主要適用于半導體、顯示器和太陽能電池板制造，以及在特殊真空條件下運行的廣泛工業和研究應用。