VAT傳輸閥02.4

產品介紹

02.4型大型轉移閥搭載MONOVAT技術，專為滿足高真空條件下有機材料蒸鍍系統的特殊需求而研發。該閥門專為高循環生產系統設計，兼具卓絕的快速動作響應與抗工藝沉積物能力，可有效避免標準閥門性能受限問題。02.4型閥門經設計可實現100萬次不間斷運行，之后才需進行初次引薦維護檢查。

高運行時間與可靠性能是02.4系列的核心優勢，其維護需求被降至lowest。采用專屬MONOVAT密封技術，閥門啟閉過程實現無沖擊運動，有效抑制顆粒活化并減少密封磨損。密封機構的緊湊設計使整個閥體結構精巧，安裝尺寸小巧。

該系列已在全球數百家顯示器與光伏生產系統中投入運行，經受各種工藝條件考驗，其卓絕性能在各方面均獲得充分驗證。

02.4型大型轉移閥（帶MONOVAT）與所有VAT轉移閥解決方案一樣，均可根據客戶準確要求定制。定制要素包括：用于脈沖驅動的電磁閥、特殊表面處理（如硬質陽極氧化或鍍鎳鋁材）、其他密封材料、閘門接地等。

緊湊設計與小巧安裝尺寸

無沖擊閘門運動

抗工藝沉積物能力

低運行成本

快速循環時間

高運行時間，低維護需求

平板顯示器制造：用于有機發光二極管（OLED）等顯示面板的真空沉積工藝，確保高精度材料沉積。

光伏生產：在太陽能電池的真空鍍膜環節中，實現高真空環境下的穩定傳輸，提升產品良率。

半導體封裝：支持高真空條件下的晶圓傳輸，減少顆粒污染風險。