COHERENT準分子激光器LEAP 50A

LEAP 準分子激光器集高占空比輸出、高可靠性和低擁有成本于一身。這使它們成為各種高要求、高產能、高精度微處理任務的適配光源，從顯示器制造到超導磁帶的卷對卷制造，不一而足。LEAP 激光器的波長為 193 nm、248 nm 或 308 nm，輸出功率高達 600 W（脈沖能量高達 1.25 J）。這種功率采用緊湊型封裝，易于集成到工具或其他生產設備中。

緊湊型工業設計，易于集成

按需脈沖，實現低成本高工作效率的激光升/降

高激光能量，用于快速大面積加工

以太網接口，用于控制和快速數據采集

193 nm、248 nm 和 308 nm 波長，可對多種材料進行優化加工

產地：美國

波長：193 nm

穩定能量范圍：200 至 250 mJ

Max 重復頻率：200 Hz

Max穩定平均功率：50 W

1 sigma 能量穩定性：≤ 2 %

脈沖持續時間（FWHM）典型值︰18 ns

光束尺寸（V x H，FWHM）典型值︰25 x 13 mm²

發散（V x H，FWHM）︰≤4.5 x ≤1.5 mrad²

Max穩定能量下的動態氣體壽命：20 百萬脈沖

電氣：3 相，200/208 或 400 VAC，50/60 Hz

水冷：8 至 20 升/分鐘；T=18 至 21 ℃

重量：860 kg（1896 磅）

機柜尺寸 (長x寬x高)：2415 x 800 x (1090 ±10) mm；95.1 x 31.4 x (42.9 ±0.4) in

LLO - 激光剝離（OLED 和 MicroLED）、PLD - 脈沖激光沉積、LDP - 激光直接圖案化、微結構、LIFT - 激光誘導正向轉移（MicroLED）