ENTEGRIS集成流量控制器NT6510

Entegris 采用創新的流量控制技術解決當今流量控制的難題。InVue 集成流量控制器 (IFC) NT6510 專為超純液體化學品、去離子水和 CMP 泥漿的使用點化學品混合和分配而設計。NT6510 控制器還設計用于有效控制產生氣泡的介質，專為需要中低流量的應用而設計。它是目前較小的 InVue 集成流量控制器，為液體處理系統節省了寶貴的空間。我們的 IFC 采用成熟可靠的壓差流量測量技術和新型的閉環過程控制。可視化指示器可為預防性維護、故障排除和報警條件提供診斷，使用戶能夠集成更準確的功能。閥座和隔膜的設計可大限度地減少死體積和流體剪切力，從而降低工藝污染的可能性。InVue IFC 的潤濕部件采用氟化材料，是保護化學完整性的適配選擇。此外，耐化學腐蝕的非潤濕部件在惡劣的化學環境中也能發揮優良的性能。InVue IFC 采用雙聚四氟乙烯閥隔膜，用于流體密封和污染保護。利用電動閥和流量計技術，封裝的內部電子元件可控制流量控制器的所有方面。這些裝置由設定點信號（例如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC）激活，以將流體流量保持在所需的設定點。

與其他常用技術相比，在易產生氣泡的介質中精度高

內置壓力傳感器，可同時進行流量和壓力雙輸出

占地面積小，節省空間，易于安裝

重復性高，可實現優良的過程控制

快速響應，實現準確的分配率

LED 狀態和離散報警輸出

產地：美國

潤濕部件材質：

閥體、閥膜： PTFE；

傳感器接口： CTFE 或 PFA；

主 O 形圈： Perfrez PXC Ultra

非潤濕部件：聚丙烯、PVDF、Viton、聚氨酯和尼龍（除上述材料外）

工作范圍%：滿量程流量的 10 至 100

流量控制精度：± 全量程的 1 %（使用 23 °C [73 °F] 的去離子水校準）

重復性：± 0.5 % 滿量程

壓力測量：0 至 414 kPa (0 至 60 psig)

壓力精度：± 全量程的 1 %

工作壓力：69 至 414 kPa (10 至 60 psig)

Min差壓要求：10 psi，差壓

輸出信號：兩個 4 至 20 mA 電氣隔離輸出，一個用于流量，一個用于壓力

響應時間：< 3 秒

過壓限制：690 kPa (100 psig)

過程溫度：10 至 65 °C (50 至 149 °F)

電氣輸入：24 VDC（± 10 %），1.2 A

設定點輸入信號：4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

外殼：IP64

重量：約 1.8 kg（4.0 磅）

符合認證：CE

軟件：基于 Windows 的界面，用于用戶設置、校準、監控和數據收集

系統要求：Windows 7 或 10，8GB 內存（Min）

當前軟件版本 InVue TechTool 1.0.1.3

關鍵分配應用、化學品添加和混合、按需化學混合