VAT泄漏閥59024-GEGG

產品介紹

59.0 UHV 全金屬可變泄漏閥允許準確控制非常小的氣體流量（1·10-10 mbar ls^-1至500 mbar ls^-1）。憑借其全金屬設計，它非常適合 UHV 和UHV 工藝中的氣體計量要求。

59.0 的特殊控制功能保證了可重復的準確氣體流量設置，增強了過程控制能力。它還在整個生命周期內提供可靠、無泄漏的關閉，沒有任何密封疲勞的風險。

全金屬設計——不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘門密封——使 59.0 還具有對腐蝕性和腐蝕性氣體的高耐受性。

59.0 已經安裝在各種工藝條件下的數千種苛刻應用中，證明了其可靠性。它已成為 UHV 和 XHV 應用中可變泄漏閥的標準解決方案。

高精度氣體流量控制

可準確控制微小氣體流量，范圍達 1×10?¹? mbar·L/s 至 500 mbar·L/s，滿足UHV/XHV工藝中氣體計量的嚴苛要求。

特殊控制機構確保氣體流量設置可重復，顯著提升工藝控制能力。

全金屬密封結構

采用不銹鋼閥體 + 鍍金不銹鋼薄膜閘門密封，實現“硬對硬”金屬密封，消除密封疲勞風險，確保終生無泄漏。

對腐蝕性及侵蝕性氣體具有高耐受性，適用于半導體、科研等高純度要求場景。

模塊化與靈活性

提供 DN16mm（5/8英寸）規格，可選角閥或直通式結構。

支持手動操作或集成步進電機控制器，滿足不同自動化需求。

產地	瑞士
流量控制范圍	準確控制微小氣體流量，范圍為 1×10?¹? mbar·L/s 至 500 mbar·L/s，滿足UHV/XHV工藝中氣體計量的嚴苛要求。
密封性能	采用全金屬密封結構（不銹鋼閥體 + 鍍金不銹鋼薄膜閘門密封），實現“硬對硬”金屬密封，確保終生無泄漏，密封壽命達 40萬次調節循環 + 1萬次密閉關閉循環，且膜片支持便捷更換。
法蘭與接口	標配可旋轉式CF-R法蘭，適配多種真空系統；可選角閥或直通式結構，提供 DN16mm（5/8英寸）規格。
操作方式	支持手動操作或集成步進電機控制器（需注意：帶控制器時highest烘烤溫度為150℃，拆離控制器后可承受300℃烘烤）。
耐腐蝕性	全金屬設計對腐蝕性和侵蝕性氣體具有高耐受性，適用于半導體制造、科研裝置等高純度環境。
溫度范圍	閥體highest可承受 300℃（需拆離控制器烘烤），驅動器溫度限制為 ≤300℃。
重量與尺寸	閥門重量為 1.25 kg，結構緊湊，便于集成到真空系統中。

半導體制造

晶圓傳輸腔體隔離、CVD/PVD工藝腔氣體計量，確保高純度環境與準確流量控制。

科研裝置

同步輻射光束線、粒子加速器真空系統，滿足惡劣真空與穩定流量需求。

高真空實驗

表面科學、材料研究等領域，提供可靠的氣體定量輸送解決方案。