ENTEGRIS氣體凈化器PS14系列

PS14 系列氣體凈化器是便攜式、低維護(hù)裝置，可在室溫下運(yùn)行，無(wú)需公用設(shè)施。由于在環(huán)境溫度下會(huì)去除雜質(zhì)，因此 PS14 凈化器即使在現(xiàn)場(chǎng)完全斷電的情況下也能繼續(xù)凈化。這些凈化器有兩種凈化介質(zhì)可供選擇：

• 僅去除H 2 O（MD 型號(hào)）
• H 2 O、CO、CO 2、H 2、O 2 去除（MN 型號(hào)）

• 質(zhì)量流量計(jì)
• 壓力測(cè)量
• 高溫安全關(guān)機(jī)
• 0.003 µm 超細(xì)顆粒過(guò)濾器