SIOS激光干涉儀SP 5000 DI

我們的超穩定差分激光干涉儀SP 5000 DI具有獨特的熱穩定性，因此是研發中長期測量的選擇，例如用于材料性能分析。

與標準干涉儀不同，在差分型中，參考光束從傳感器頭引出，并平行于測量光束。這一概念允許將傳感器放置在離實際測量位置更大的距離處，而不會顯著影響測量的分辨率或穩定性。該干涉儀的長度分辨率在亞納米范圍內，并且由于微分原理，即使在正常的實驗室條件下，也可以在類似的測量或光束長度下實現。

如果使用傾斜不變反射器進行測量，則長度測量的測量范圍可以是幾米。干涉測量系統具有模塊化設計，并且因此可以適用于相應的測量任務。

調整很簡單，特別是可以長期穩定地實現。對基于SP 5000 DI干涉儀的干涉多軸系統的擴展允許同時進行多坐標測量。

• 高精度的差動長度或角度測量
• 通過差分測量更小化環境影響
• 熱長期穩定傳感器，溫度靈敏度<20 nm/K
• 可以使用各種光學反射器，例如球面、平面反射鏡反射器
• 測量反射鏡的大傾角不變性
• 標準不銹鋼傳感器頭設計
• 光束距離：21毫米
• 廣泛的觸發器選項
• Windows和Linux下OEM軟件的開放接口

球反射器直徑15毫米

球形反射器單元

環境校正

產地：德國

位移測量范圍：5 m

位移分辨率：5 pm

角度測量范圍

帶反射器：±12.5°

帶平面鏡（建議距離≤2m）：±1.5弧分

光束距離（標準）：21 mm

波長：632.8 nm

HeNe激光器的頻率穩定性（預熱時間之后）：2·10-8

HeNe激光器的預熱時間：10 ... 20 min

工作溫度范圍：15 ... 30°C

測量反射鏡的位移速度：max.3 m /s

傳感器頭和電子單元之間的電纜長度：3 m，max.10 m

電源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸（長x寬x高）

傳感器頭（帶基板）：150 x 140 x 43 mm

電子供應和評估單元（標準）：450 x 400 x 150 mm

電子供應和評估單元（緊湊）：250 x 400 x 150 mm

重量

感測頭：2.0 kg

底盤：1.5 kg

差分激光干涉儀可作為OEM版本提供，可作為編碼器安裝在機器軸上。對于真空測量，SP 5000 DI可作為真空優化版本提供。

標準光束距離為21毫米。我們可根據要求提供其他光束距離。