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      COHERENT準分子激光器VarioLas Sweep

      產品介紹

      基于強大的 COMPex 準分子激光器的系統是用于具有線光束或方形光束場形狀的高質量 UV 微加工的靈活工具。

      光學設計、堅固的機械結構和具有脈沖間穩(wěn)定性的準分子激光器可提供非常準確的結果。應用包括激光剝離 (LLO) 分離、摻雜劑離子激活、燒蝕圖案化和薄膜退火。

      性能特點

      • 高分辨率光學和機械結構確??芍貜偷慕Y果
      • 模塊化設計,提供靈活使用的定制選項
      • 方光束和線光束場以獲得更優(yōu)的結果
      • 支持所有 COMPex 激光器型號以實現有效率的加工

      技術參數

      產品尺寸

      產品應用

      激光剝離分離

      摻雜離子激活

      燒蝕圖案

      準分子激光退火


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