WASCO真空開關SV120-3

自 1989 年以來，業界客戶一直信賴 SV120 系列產品的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結構外，還采用了全不銹鋼傳感器。SV120 系列采用 Wasco 專有的制造方法，消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇，精度高，公差小。我們為半導體設備等高純度應用設計了這些開關。SV120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據 SEMI F1 標準，所有開關的氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

為半導體設備等高純度應用設計

不含任何彈性體或 O 形圈

符合SEMI F1 標準

氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

SV120-3 設定點范圍：1.6 - 25.0 inHg

SV120-5 設定點范圍：6.0 - 29.5 inHg

可提供其他配置帶 1/4" 面密封和飛線

可提供其他配置帶 KF25 接頭和 9 針

產地：美國

Max系統壓力：30.0 inHg

設定點范圍：1.6 - 25.0 inHg

設定點公差：± 1.2 inHg

典型復位帶：1.0 - 4.6 inHg

潤濕元件 接頭：316L SS

膜片：17-7PH SS

使用壽命：≥ 1,000,000 次

防護等級：IP 65

泄漏率：≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作溫度：-65 至 225 °F；-54 至 107 °C

氣箱、臭氧系統、氣體分配系統、半導體設備