WASCO壓力開關UC9

UC9 系列采用 Wasco 專有的制造方法和 Elgiloy 隔膜。它具有高純度和高耐腐蝕性。其全焊接結構消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇，精度高，公差小。我們設計的這些開關適用于下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環境。UC9 系列的額定 95B2 應用周期超過 2,000,000 次。UC9 系列可提供符合或超過 SEMI F20 UHP 要求的材料選擇。根據 SEMI F1，所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

適用于下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環境

額定 95B2 應用周期超過 2,000,000 次

通過了 SEMI F1 ≤ 1 x10^-9 std cc/sec 的氦氣泄漏測試

UC9-A：激活點范圍：壓力_abs 20 至 200 Torr

UC9-G：激活點范圍：0.5 至 3.5 PSIG 壓力表壓力

典型 UC9，帶 1/4" 外螺紋端面密封和 M8 3 針（可提供其他配置）

可提供更高的額定溫度

可提供其他材料

可提供其他激活范圍

可提供更高壓力

產地：美國

激活點范圍：20 至 200 Torr（壓力_abs)

復位帶：10 Torr + 啟動點的 6 %（典型值）

激活點公差：+/- 5 Torr +2 %激活點（典型值）

耐壓：100 PSIG

爆破壓力：1000 PSIG Min

工藝接口：316L SS

符合標準：SEMI F20 UHP

隔膜：埃爾吉洛伊（Elgiloy）

內表面光潔度：5 Ra

工作溫度：-20 至 60 ℃(-4至 140 °F)

非工作溫度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）

預期壽命：≥ 1,000,000 次 95B2（視應用而定）

防護等級：IP 67（Abs配置）

泄漏率：氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

Max額定電流：1 A

交流/直流電壓：115/ 28 V

觸點材料：金

氣箱、IGS 配氣盤、配氣系統、閥組箱體、蝕刻和沉積系統