WASCO壓力開關UC8

UC8 系列采用 Wasco 專有的制造方法和 EIgiloy 隔膜。它具有高純度和高耐腐蝕性。其全焊接結構消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇，精度高，公差小。我們設計的 UC8 系列適用于下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環境。UC8 系列的額定 95B2 應用周期超過 2,000,000 次。UC8 系列可提供滿足或超過 SEMI F20 UHP 要求的材料選項。根據 SEMI F1，所有開關的氦氣泄漏測試均達到≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

適用于下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環境

額定 95B2 應用周期超過 2,000,000 次

經過氦氣泄漏測試

符合 SEMI F1 標準

泄漏量≤1 x 10^-9 std cc/sec

UC8-A：激活點范圍：50 至 1500 Torr（abs壓力）

UC8-G：激活點范圍：2 至 20 PSIG 壓力表壓力

可提供符合或超過 SEMI F20 UHP 要求的材料選項

可提供其他激活范圍

可提供更高的壓力

產地：美國

激活點范圍：50 至 1500 Torr（abs壓力）

復位帶：40 Torr + 啟動點的 6 %（典型值）

激活點公差：± 15 Torr +2 %激活點（典型值）

耐壓：100 PSIG

爆破壓力：Min 1000 PSIG

潤濕元件

工藝接口：316L SS SEMI F20 UHP 兼容

隔膜：埃爾吉洛伊Elgiloy

內表面處理：5 Ra

預期壽命：≥ 2,000,000 次 95B2（取決于應用情況）

防護等級：IP 67（abs配置）

泄漏率：氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作溫度：-20至 60 ℃（-4至 140 °F）

非操作溫度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）

氣箱、IGS 配氣盤、配氣系統、閥組箱體、蝕刻和沉積系統