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      MSG聚焦與跟蹤系統LAF5-CH

      產品介紹

      結合了工業顯微鏡和AOI系統的線激光和基于圖像的自動聚焦和跟蹤。MSG圖像自動聚焦作為一個跟蹤聚焦,而不像典型的對比度圖像聚焦。通過根據表面自動選擇聚焦方法,獲得更加穩健的聚焦結果。

      控制接口步進/伺服電機。適用于放大2倍至100倍的校正透鏡,VIS、NIR、NUV、DUV。UI界面和軟件庫。

      性能特點

      我們的技術能夠自動聚焦于:

      • 具有高對比度變化的圖案表面
      • 具有高倍率透鏡的更小結構
      • 折射率變化的材料,如夾層/分層基材

      3種不同的操作模式。

      • 具有高速和高工作范圍的激光自動聚焦模式
      • 圖像自動對焦模式可提高精度

      混合自動聚焦模式,可智能選擇激光或圖像聚焦,以優化速度和精度,幾乎消除激光壞點問題,同時仍能準確跟蹤

       

      該系統具有完整的Z軸閉環系統,帶有傳感器和電機控制。它帶有一個軟件界面,便于設置、使用和診斷所有必要的傳感器和電機參數。易于集成到現有軟件架構中。

      技術參數

       

      參考APO計劃無限顯微鏡物鏡(示例)

      放大倍數

      5x

      10x

      20x

      50x

      100x

      DOF

      14µm

      3.5µm

      1.6µm

      0.9µm

      0.6µm

      采樣率激光器

      max.5kHz

      采樣率視頻

      250幀/秒,MAX,連續

      工作范圍激光

      ±12000µm

      ±4000µm

      ±1500µm

      ±500µm

      ±150µm

      工作范圍視頻

      ±5000µm

      ±1000µm

      ±400µm

      ±100µm

      ±20µm

      精度*

      激光模式:0.5鏡頭自由度,視頻0.25鏡頭自由度

      激光

      二極管激光器660nm,IIIR類<2mW,前置透鏡

      工作溫度

      +5°C至+50°C

      光束形狀

      45°傾斜激光線

      傳感器+電纜重量

       

       

      400g

       

       

      接口重量

       

       

      400g

       

       

      推薦BS

       

       

      50/50

       

       

      激光AF周期時間

       

       

      0.1s

       

      自動跟蹤

      圖像AF周期時間

       

       

      0.4s

       

      自動跟蹤

      混合AF循環時間

       

      0.2s

       

      自動跟蹤

      電源

      In

      僅+12V DC傳感器,24-48V,帶控制器LAF-C

      可選距離輸出

      模擬

      0-10V和-10+10V,通過RS232

      信號質量輸出

      模擬

      0-10V,通過RS232

      通信

      數字

      RS232

       

       

       

      激光器開/關

      In

      TTL

      &通過RS232

       

      照相機同步

      In

      TTL

       

       

       

      *所有數據均指激光用普通玻璃的測量值和視頻用標準圖案

       

       


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